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发明专利
2010101091194
一种平板显示用玻璃基板蚀刻液
发明专利
化学化工
2010-02-08
2030-02-07
已下证
本发明公开了一种平板显示用玻璃基板蚀刻液。该蚀刻液由氟化氢吡啶盐、强酸、水和乙二胺四乙酸组成。各组分占蚀刻液总重的百分比分别为:氟化氢吡啶盐:10-20%;强酸:30-70%;乙二胺四乙酸:0.5-5%;余量为水。该蚀刻液是一种安全、稳定、高效的蚀刻液,能够很好的解决蚀刻过程中产生的难溶性副产物问题,同时也提高了蚀刻速率和蚀刻效果。该蚀刻液适用于TFT等玻璃基板的减薄。
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根据专利法的规定,自申请之日起计算,发明专利的期限为20年。
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