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发明专利
2015100102160
一种纳米晶ZrB2超硬涂层及制备方法
发明专利
化学化工
2015-01-09
2035-01-08
已下证
本发明涉及硬质涂层及其制备技术,具体地说是一种超硬ZrB2涂层及其制备工艺,采用高功率脉冲和脉冲直流复合磁控溅射技术在金属或合金基体上沉积ZrB2涂层。靶材分别选用金属Zr和化合物ZrB2(纯度均为wt.99.9%),前者用于基体表面的轰击清洗和沉积金属Zr过渡层,后者用于沉积ZrB2涂层,镀膜过程始终在氩气气氛内进行。本发明涉及的ZrB2涂层制备重复性好,并且容易工业化生产;制备出的ZrB2涂层具有较高的熔点、硬度和弹性模量,良好的耐磨性能,而且组织结构致密、涂层与基体间的结合力强。
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根据专利法的规定,自申请之日起计算,发明专利的期限为20年。
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