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发明专利
2018106547227
超导电缆用二硼化镁超导薄膜的制备方法
发明专利
电气自动化
2018-06-22
2038-06-21
已下证
一种超导电缆用二硼化镁超导薄膜的制备方法,包括以下步骤:选择基板衬底,清洗基板衬底,抽真空,加热基板衬底,通入氩气和氢气的混合气体,将乙硼烷引入沉积室内,加热基板衬底至400℃以上,使单质B沉积到基板上生成无定形B薄膜,降温至常温,将B薄膜基板和高纯镁颗粒放入密闭坩埚内,在高纯氩气下退火10min,在退火过程中,以20℃/min的速度升温至800?1000℃,然后保温30?40min,自然降温至室温。该制备方法所制备的MgB2超导体致密度高、纯度高,同时步骤简单,易于操作,成本低,不污染环境,实用价值高。
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交易完成
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